Het was destijds, in januari 2019, niet meer dan een persbericht van 212 woorden: de overname van techbedrijf Mapper uit Delft, door ASML. Mapper verkeerde in financiële nood en zocht hulp bij Chinese investeerders. Maar het Pentagon zag dat niet zitten: het Amerikaanse ministerie van Defensie wilde chiptechnologie van Mapper gaan gebruiken voor militaire toepassingen en voor veiligheidsdienst NSA, maar een deal daarover was mislukt door bureaucratische fouten bij het Pentagon. De VS sloegen alarm in Den Haag, omdat de Nederlandse overheid niet in de gaten had welke strategische kennis uit eigen land dreigde weg te lekken naar China. Op verzoek van het ministerie van Economische Zaken bood ASML vervolgens onder hoge tijdsdruk op de failliete Mapper-boedel, om de techniek in Nederland te houden.
En zo raakte de Nederlandse chipmachinefabrikant veel eerder betrokken bij de techoorlog tussen de VS en China dan tot nu toe bekend was. Het verhaal van Mapper toont aan hoe nauw chipbedrijven en politiek in de VS met elkaar samenwerken, terwijl die twee werelden in Nederland juist van elkaar gescheiden zijn. Dat is lastig, als je bedenkt dat de belangrijkste toeleverancier van de chipindustrie, waarin per jaar 600 miljard dollar omgaat, uit Brabant komt. En het wordt nog lastiger als de grootmachten zich ermee gaan bemoeien.
Nederland was zich tot voor kort amper bewust van de waarde van de eigen chiptechnologie en de risico’s van China’s expansiedrift. Nog in 2018 reisde premier Mark Rutte met een grote handelsdelegatie naar China en reikte hij een prijs uit aan de Chinese telecomreus Huawei, uit dank voor de vele investeringen in Nederland. Een jaar later huiverde Rutte bij de gedachte dat supermacht China technologisch dominant zou worden.
Het was de zaak-Mapper, begin 2019, die mede tot dat besef leidde.
Vrachtwagen door Veldhoven
Pas een jaar later wordt ook in de buitenwereld echt duidelijk dat de Amerikanen – Democraten én Republikeinen – er alles aan doen om niet alleen Huawei, maar de volledige Chinese chipindustrie af te remmen. Zo hoopt Amerika zelf economisch en militair superieur te blijven, uit het oogpunt van nationale veiligheid.
Dat voelen ze in Veldhoven, waar het Nederlandse ASML (wereldwijd 42.000 werknemers) de complexe machines ontwerpt die onmisbaar zijn voor de productie van de geavanceerdste chips. Deze Nederlandse onderneming, bijna veertig jaar geleden opgericht, is marktleider in lithografiemachines.
Onder druk van de regering-Trump verbiedt Nederland in 2020 de verkoop van ASML’s EUV-systemen aan China. Dat zijn complexe apparaten van 180.000 kilo en 200 miljoen euro per stuk, de enige machines die met een speciaal soort licht de allerkleinste chippatronen kunnen afdrukken. Hoe fijnmaziger de lijntjes op een chip, hoe meer schakelingen erop passen en hoe krachtiger ze zijn.
Over zoveel rekenkracht mag China niet beschikken. En het mag deze chips zeker niet zelf kunnen maken, vinden de Amerikanen: het autoritaire bewind van Xi Jinping en het Chinese leger moeten op technologische achterstand blijven.
Bij ASML dringt de nieuwe geopolitieke werkelijkheid moeizaam door. Politiek is een bijzaak die van oudsher wordt afgedaan als ‘gezeur’: alle aandacht in Veldhoven is gericht op chipmachines en de ingenieurs die onder leiding van technisch directeur Martin van den Brink de extreem ingewikkelde EUV-apparatuur proberen te perfectioneren.
Maar vanaf 2021 schroeft de regering-Biden, in navolging van Donald Trump, de exportbeperkingen naar China nog verder op en wil dat Nederland meedoet door ASML af te knijpen. Het vergt twee jaar onderhandelen, dan is er begin 2023 een overeenkomst tussen de VS, Nederland en Japan – dat ook chipmachines produceert. Het is geen officieel akkoord met handtekeningen of uitgewisselde pennen, maar een gezamenlijke afspraak. ASML mag vanaf 2024 sommige minder geavanceerde systemen niet meer aan China leveren. Wat er al aan apparatuur in Chinese fabrieken staat, mag volgens de bestaande contracten blijven draaien en onderhouden worden.
„Het Pentagon… Jullie moeten ons helpen!”
ASML moet echter wel zijn handen volledig aftrekken van zes fabrieken en productielijnen die processors aan Chinese defensieprojecten leveren. En er blijft een onzekere factor boven de markt hangen: de VS hebben de macht om ASML nog verder af te knellen, zonder dat de Nederlandse overheid of de EU daar invloed op heeft. Deze week scherpte Amerika de regels opnieuw aan waardoor ASML nog minder chipmachines naar China mag leveren.
Zulke ingrijpende overheidsbemoeienis strijkt ASML tegen de haren in; het verwierf zijn technische voorsprong en machtige positie in de chipindustrie juist in een tijdperk van globalisering en onbelemmerde wereldhandel. Vooral met Azië, waar de koplopers in de chipindustrie zitten. Veertig procent van de ASML-omzet komt bijvoorbeeld uit Taiwan, het eiland dat volgens Xi Jinping bij China hoort.
„Uit het niets komt er een vrachtwagen op je afstormen die overal dwars doorheen dendert”, zo beschrijft ASML-topman Peter Wennink de geopolitieke wervelwind waarin zijn bedrijf verzeild raakte.
Maar zo onverwacht begint de techoorlog dus niet voor ASML.
De boodschap van Mona
Ze is niet graag de boodschapper van slecht nieuws, zeker niet net voor Kerstmis. Maar deze keer kan Mona Keijzer niet anders. Gehaast stapt de staatssecretaris van Economische Zaken & Klimaat uit haar dienstauto en loopt door de draaideur van het hoofdkantoor van ASML in Veldhoven. Op de twintigste verdieping vertelt ze het ASML-bestuur wat ze aan de telefoon niet kon zeggen: „We hebben een probleem met de Amerikanen. Het gaat om Mapper. Het Pentagon… Jullie moeten ons helpen!”
In december 2018 heerst er topdrukte op de diplomatieke lijnen tussen Washington en Den Haag. De aanleiding is Mapper, een bedrijf dat sinds 2000 in Delft werkte aan e-beam, oftewel elektronenlithografie. Mapper is geboren in de schoot van de Technische Universiteit Delft. Hoogleraar deeltjesoptica Pieter Kruit vroeg in de jaren negentig zijn studenten om een machine met elektronenbundels te ontwerpen die voor grootschalige chipproductie toegepast kan worden. Twee van die studenten, Bert Jan Kampherbeek en Marco Wieland, raakten enthousiast en begonnen hun eigen bedrijf. Wieland was de stuwende kracht achter de techniek, Kampherbeek richtte zich meer op de zakelijke kant.
‘Multibeam’, zo heet de Mapper-methode. Het is een manier om elektronenstralen met piepkleine lenzen op te splitsen in duizenden ragfijne stralen. Een technisch hoogstandje, maar lastig te verkopen omdat chips ‘schrijven’ met elektronen niet zo snel gaat. De Taiwanese chipgigant TSMC probeerde rond 2010 zo’n machine van Mapper uit en kwam tot de conclusie dat voor massaproductie van chips de lithografiemachines van ASML beter geschikt waren: die printen een chippatroon in één keer met licht, zoals een kopieerapparaat het wint van overschrijven met een pen.
De financiële steun voor Mapper kwam van Arthur del Prado, oprichter van het Nederlandse techbedrijf ASM International en, samen met Philips, mede-oprichter van ASML. Mapper kreeg in 2012 een Russische aandeelhouder die 40 miljoen euro investeerde: Rusnano. Dit staatsfonds breidde zijn belang stapsgewijs uit naar 27,5 procent en bouwde een fabriek in Moskou om benodigde onderdelen te maken. Mapper kreeg ook tientallen miljoenen euro’s aan innovatiekrediet van de Nederlandse overheid. De aanwezigheid van een Russisch staatsfonds in een Delfts technologiebedrijf stuitte niet op bezwaren in Den Haag – ook niet na de annexatie van de Krim in 2014 en de ramp met passagiersvlucht MH17, in hetzelfde jaar.
Toen Del Prado in 2016 op 84-jarige leeftijd overleed, verloor Mapper in één keer zijn belangrijkste geldschieter. In zijn nalatenschap had Del Prado vast laten leggen dat al zijn kapitaal ten bate moest komen van onderzoek naar kanker. Dat had hij zijn vrouw beloofd, die op jonge leeftijd aan die ziekte was gestorven.
Mapper raakt begin 2018 in acute geldnood, al is er meer dan 200 miljoen euro in het bedrijf gepompt en is de nieuwe machine vrijwel gereed; ze zijn in het zicht van de finish.
De Delftse ingenieurs zoeken koortsachtig naar een grote investeerder. Kampherbeek vliegt de wereld rond en spreekt met chipmachinefabrikanten in Japan, Singapore en Amerika, zonder succes. Mapper gaat ook op zoek naar een partner in China. Marco Wieland reist naar de stad Chengdu. Hij probeert daar beleggers en overheden te interesseren om vanuit China een EUV-alternatief te ontwikkelen.
Kampherbeek vliegt op zijn beurt naar Beijing om met investeringsfondsen te praten. Die hebben serieuze belangstelling, merkt hij. Maar Mapper heeft heel veel haast met een deal om het dreigende faillissement te voorkomen. Zo snel kunnen de Chinese investeerders niet reageren op het onverwachte aanbod uit Delft.
Marinier met een missie
In de zomer van 2018 klampt Mapper ook het Amerikaanse ministerie van Defensie aan om hulp. Het Pentagon had in eerdere gesprekken laten weten dat het de multibeamtechnologie interessant vond. Je kunt er immers ook unieke, goedbeveiligde chips mee maken voor moderne wapensystemen of apparatuur voor inlichtingendiensten.
Mapper klopt op precies het juiste moment aan. Het Amerikaanse ministerie van Defensie wil dat de modernste chips ook op Amerikaanse bodem gemaakt kunnen worden. ‘Trusted foundry’ heet dit principe: een betrouwbare chipfabriek die halfgeleiders voor overheidsinstellingen produceert. Het is voor de Amerikanen een strategische noodzaak, want als chips voor F-35-straaljagers, geavanceerde drones of apparatuur van de geheime diensten uit fabrieken in het buitenland komen, zijn ze veel kwetsbaarder voor hacks of sabotage.
Maar vanaf 2018 kunnen de Amerikaanse chipfabrikanten Intel en GlobalFoundries hun Aziatische concurrenten niet meer bijbenen. Samsung (Zuid-Korea) en TSMC (Taiwan) schakelen over op de EUV-machines van ASML; Amerika blijft achter.
Lees ook Wat is het geheim van ASML? NRC keek achter de schermen mee bij het Nederlandse hightech-wonder
Met de Mapper-techniek hoopt het Pentagon op kleine schaal geavanceerde chips te maken, maar dan moet wel eerst die Russische investeerder weg. Daarom benadert een defensieambtenaar vertegenwoordigers van de Amerikaanse wapenindustrie om een belang in Mapper te nemen en Rusnano eruit te werken.
De grote wapenfabrikanten reageren lauwtjes op dat verzoek, maar er gaat ook een telefoontje naar SecureFoundry uit Fort Worth, Texas. De oprichter van dat bedrijf, Lex Keen, was vroeger marinier en technisch directeur van het US Cyber Command. Hij is in het wereldje blijven hangen en heeft zich gespecialiseerd in halfgeleiders; hij koopt bij universiteiten patenten op voor geavanceerde chips die daarna in defensieprojecten belanden. Het Pentagon geeft SecureFoundry geen rechtstreekse opdracht – dat zou tot verplichtingen leiden – maar wel een duidelijke hint: het zou mooi zijn als iemand kon instappen om de Nederlandse technologie te redden voor de Amerikaanse defensieindustrie.
De voormalige marinier begint aan een nieuwe missie. Hij maakt kennis met het Delftse team en hij nodigt Bert Jan Kampherbeek uit om in Fort Worth een reddingsplan voor Mapper op te zetten. Ze schakelen daarvoor de hulp in van de National Security Agency, NSA.
Dit is het plan: de Amerikaanse geheime dienst bestelt twee machines in Delft, voor in totaal 20 miljoen dollar. Als het Pentagon dat bedrag namens de NSA vooruitbetaalt, krijgt SecureFoundry de distributierechten om de chipmachine te leveren aan Amerikaanse overheidsdiensten en kan Mapper verder met vers kapitaal en een paar grote klanten.
Deze technologie mag niet verdwijnen naar China of Rusland
Het Pentagon reageert positief, maar eerst moeten de Russen er nog uit. Keen spreekt in Amsterdam af met Rusnano-vertegenwoordigers. Liefst zouden die het op een faillissement van Mapper laten aankomen, maar Keen overtuigt hen dat ze hun zeggenschap in Mapper beter kunnen opgeven door het Russische belang in een externe trust onder te brengen.
SecureFoundry handelt in nauw overleg met het Nederlandse ministerie van Economische Zaken. Mapper heeft daar nog voor 32 miljoen euro aan leningen uitstaan. Keen krijgt een ondertekende verklaring van de Nederlandse economische gezant in Washington: hij heeft toestemming om in Mapper te investeren, EZ hoeft de lening niet meteen terug te hebben en niets lijkt de redding meer in de weg te staan.
Begin december spreekt Lex Keen de bijeengetrommelde medewerkers van Mapper in Delft toe. De deal is rond, vertelt hij; het faillissement is afgewend. Maar als Keen een dag later terugvliegt krijgt hij een verontrustend telefoontje van een van zijn medewerkers: het Pentagon reageert niet meer. Ze zijn in silent mode.
Mapper is het slachtoffer van interne Pentagon-politiek, zo blijkt. Er is weliswaar 20 miljoen dollar gereserveerd voor de twee machines voor de NSA, maar de persoon die verantwoordelijk is voor de deal heeft een andere baan. Zijn opvolger sluist vervolgens het geld door naar een ander project, voor een fabriek waar Intel chips voor defensie maakt. Tegelijkertijd bemoeit een belangengroep van de Amerikaanse wapenindustrie zich binnen het Pentagon met de Mapper-zaak: zij zitten niet te wachten op een potentiële concurrent uit Nederland.
Lex Keen ziet zijn deal in slow motion sneuvelen. Eind 2018 draait de stroperige bureaucratische molen van het Pentagon trager dan ooit. De begrafenis van oud-president George Bush senior legt Washington dagenlang plat en als het Pentagon opnieuw budget probeert aan te vragen voor de Mapper-deal, stoot die procedure op een andere muur: de federal government shutdown. De Amerikaanse overheid gaat op 22 december op slot. De Democraten blokkeren de plannen van president Trump om een muur bij de Mexicaanse grens te bouwen. Het zal met 35 dagen de langste budget freeze uit de Amerikaanse geschiedenis worden.
Voor Mapper duurt dat te lang: de Delftse techneuten hebben dan al een paar maanden geen salaris meer gehad. Op 19 december vraagt Mapper surseance aan en op 28 december wordt het faillissement uitgesproken.
Als het Pentagon beseft dat ze de Mapper-deal hebben laten schieten, slaat de paniek toe. Stel dat de Russen of de Chinezen alsnog aan de haal gaan met de failliete boedel. Hun zorgen zijn niet onterecht: Mapper had in het verleden al eens gesproken met SMEE, de Chinese concurrent van ASML, en Chinese investeerders toonden ook serieuze interesse in multibeam uit Delft.
De Nederlandse ministeries zijn zich er helemaal niet van bewust dat gevoelige techniek dreigt weg te lekken. Daarom slaan de Amerikanen alarm in Den Haag. Het Pentagon stuurt in december dringende brieven naar de Nederlandse ministeries van Defensie en Economische Zaken. De boodschap: grijp in, want jullie strategische chiptechnologie dreigt in handen te vallen van een vijandige mogendheid. Via de Amerikaanse ambassade wordt premier Mark Rutte persoonlijk op het hart gedrukt: deze technologie mag niet verdwijnen naar China of Rusland. Zorg dat het in Nederland blijft, vernietig het desnoods.
Eenmaal, andermaal
Dat is de reden dat Mona Keijzer in Veldhoven, net voor de kerstdagen van 2018, zo dringend om hulp komt vragen. „Jullie moeten Mapper kopen”, is haar boodschap. Als de Chinezen hun slag willen slaan dan kan de Nederlandse wet ze dat niet verbieden – er is daarvoor op dat moment een wet in de maak, maar die is nog niet goedgekeurd.
„We gaan zeker met ze praten”, zegt Peter Wennink tegen een radioverslaggever van BNR, een dag nadat Mapper in surseance is gegaan. Als een vaardige politicus ontwijkt hij de vervolgvragen. ASML ziet immers helemaal geen heil in chipproductie met elektronen; de technische mogelijkheden zijn beperkt en EUV draait inmiddels, zij het nog met horten en storten, in de grote chipfabrieken.
De Brabanders hebben wel interesse in de patenten en de technische kennis in Delft. Je kunt de elektronenbundels namelijk ook gebruiken om halfgeleiders te controleren op fouten: geen chips produceren, maar chips meten. Dat zou een perfecte aanvulling zijn voor inspectieapparatuur die ASML in zijn vestiging in Silicon Valley ontwikkelt. ASML’s technisch directeur Martin van den Brink en onderzoeksbaas Jos Benschop waren daarom al een paar keer in Delft op bezoek, om te vragen of oprichter Marco Wieland niet wilde overstappen naar Veldhoven. Wieland bedankte. De ASML’ers polsten ook of ze Mapper konden overnemen, maar tot een serieus bod kwam het nooit.
De curator organiseert in januari 2019 een veiling van de Mapper-restanten om de grootste schuldeisers, het fonds van Del Prado en het ministerie van Economische Zaken, terug te kunnen betalen. Lex Keen van SecureFoundry is een van de gegadigden. De ex-marinier heeft in korte tijd een groepje Nederlandse investeerders bij elkaar geharkt om op de failliete boedel te bieden.
De curator benadert ook de Chinese investeringsfondsen die al eerder door de Delftse ingenieurs waren gepolst. Zo denkt hij de prijs op te drijven, maar tegelijk doorkruist hij daarmee de Amerikaanse plannen. Mappers techniek mag juist níét naar China.
Voor de Nederlandse overheid staat de gewenste uitkomst van de veiling vast: de Mapper-techniek moet naar Veldhoven.
Al moet ASML de hoofdprijs betalen, het bedrijf geeft toch gehoor aan het verzoek van Den Haag om de Mapper-boedel over te nemen voordat het in Chinese handen kan vallen. Wanneer vind je nou zoveel experts op het gebied van chiptechnologie, op nog geen 130 kilometer van Veldhoven? In het achterhoofd speelt bij de bestuurders ook de gedachte dat het geen kwaad kan om wat vaderlandsliefde te tonen door Mappers kennis te behouden. Wat extra goodwill bij de Amerikaanse en Nederlandse overheid is geen overbodige luxe omdat de geopolitieke verhoudingen in 2018 al beginnen te schuren.
Lees ook Chips tekenen zonder licht – NRC
ASML biedt op de veiling eerst 35 miljoen euro, dat bedrag kan Keen ook nog net ophoesten. Vervolgens tast ASML dieper in de buidel en biedt 75 miljoen euro – dan haken de andere partijen af. Eenmaal, andermaal, verkocht.
Zes weken nadat Lex Keen zich in Delft presenteerde als redder in nood, staat er in januari 2019 een delegatie uit Veldhoven in Delft, weer voor een propvolle zaal. „Jullie hebben gewonnen”, fluistert een van de oprichters tegen de aanwezige ASML’ers, net voordat ze het geïmproviseerde podium opstappen. De 240 medewerkers luisteren naar het Brabantse plan om banen en kennis te behouden: iedereen kan bij ASML aan de slag.
Het Pentagon en het Amerikaanse ministerie van Energie proberen daarna ASML alsnog te overtuigen om de Mappertechniek in leven te houden om standaardchips met unieke codes produceren. Veldhoven bedankt beleefd voor de eer en adviseert de Amerikanen dat ze daarvoor beter een andere technologie kunnen gebruiken. ASML heeft helemaal geen trek in een Mapper 2.0; dat zou de aandacht van de Delftse talenten alleen maar afleiden. Focus, daar draait het om in Veldhoven.
Lex Keen hoopt nog steeds op een wederopstanding van de multibeammethode. Hij verscheept in 2021 de laatste Mapper-machine in kratten van Europa naar de VS en wacht tot ASML hem een Mapper-licentie gunt, maar die kans is klein. Marco Wieland geeft zijn oude droom op en gaat bij ASML werken aan chipinspectiesystemen. Bert Kampherbeek kiest voor een andere carrière. Zijn nieuwe bedrijf ontwikkelt agrarische robots voor de kweek van tulpen – ook een mooi Nederlands exportproduct.
