China mag de ‘extreem ultraviolet’ chipmachines van ASML niet in handen krijgen – volgens de Amerikanen

Hoe houden we de Chinezen op 14 nanometer?

Dat is, in één zin, de inzet van het diplomatieke offensief van de VS om de groei van de Chinese chipindustrie af te remmen. China loopt jaren achter in chiptechnologie, omdat fabrikanten geen toegang hebben tot de meest geavanceerde lithografiemachines van ASML. De handrem moet van de Verenigde Staten nog strakker worden aangetrokken.

Met het blote oog zie je geen verschil, maar in de chipindustrie is het onderscheid tussen 14 nanometer en 3 nanometer (een miljoenste van een millimeter) enorm. Het is het verschil tussen de meest geavanceerde chips die China op dit moment kan maken en de supersnelle chips die bedrijven als Samsung en TSMC produceren (dankzij machines van ASML).

Hoe dichter de schakelingen van een chip op elkaar geplaatst kunnen worden des te meer rekenkracht op een vierkante centimeter past. Dat voordeel willen de Amerikanen voor de westerse wereld behouden.

Persbureau Bloomberg schreef eerder deze week dat de VS met Nederlandse diplomaten praat over exportbeperkingen voor ASML. Die gesprekken kwamen volgens Bloomberg op gang na een bezoek van Don Graves, staatssecretaris van het Amerikaanse ministerie van Handel. Hij bezocht in mei het ASML-hoofdkantoor.

Extreem ultraviolet

In feite zijn de gesprekken tussen Washington en Den Haag al ruim een jaar aan de gang. Dat bevestigen ingewijden in Washington en Den Haag aan NRC. De regering-Biden leek een andere koers te varen dan de exportbeperkingen van de regering Trump. Die vielen niet goed, ook niet bij Amerikaanse bedrijven die chips in China produceren of aan China verkopen.

De oorlog tussen Rusland en Oekraïne heeft de verhoudingen tussen de wereldmachten verder op scherp gezet. De Amerikanen proberen de Nederlandse en Japanse regering te bewegen de export van lithografiemachines naar China te beperken. Lithografie – het belichtingsproces – is het hart van de chipproductie. De gangbare techniek, met een lichtbron die ‘diep ultraviolet’ of ‘DUV-licht’ produceert, is minder fijnmazig dan de nieuwste methode: ‘extreem ultraviolet’ of ‘EUV’. Dat is een techniek die alleen ASML beheerst. ASML domineert de markt voor alle lithografiemachines. De andere leveranciers zijn Canon en Nikon, uit Japan.

De VS proberen export van lithografiemachines naar China te beperken

Er is een officiële diplomatieke route om de export te reguleren van specifiek techniek die voor militaire doeleinden gebruikt kan woorden. Dat is het ‘Wassenaar Arrangement’, een overeenkomst tussen 42 landen, waaronder Oekraïne en Rusland.

Lees ook dit artikel: Wat is het geheim van ASML? NRC keek achter de schermen mee bij het Nederlandse hightech-wonder

ASML’s EUV-techniek valt onder dat Wassenaar Arrangement. De Amerikanen zijn bang dat het China met EUV nog meer ruimte krijgt kan om bijvoorbeeld kunstmatige intelligentie te verbeteren. Op aandringen van de VS heeft de Nederlandse overheid in 2019 geen exportvergunning gegeven voor een EUV-machine die door het Chinese chipbedrijf SMIC besteld was.

De VS stelden begin dit jaar voor om ook DUV-technologie opnieuw te reguleren via het Wassenaar Arrangement. De kans is klein dat dit voorstel erdoor komt, wijzigingen moeten namelijk in consensus worden aangenomen. Door de oorlog tussen Oekraïne en Rusland is het Wassenaar Arrangement de facto vleugellam.

Volgens de Amerikanen moet de Chinese chipproductie afgeremd worden. De National Security Council (de veiligheidsadviseurs van de Amerikaanse president) dringt aan op strengere exportregels die het Amerikaanse handelsministerie moet uitvoeren. Ook al schaadt zo’n maatregel mogelijk Amerikaanse bedrijven.

Ingebouwde handrem

Mocht het tot een exportverbod komen, dan raakt dat ook Amerikaanse toeleveranciers van chipmachines, zoals Lam Research en Applied Materials. En ASML levert in China niet alleen aan Chinese bedrijven – ook bedrijven als Intel, SK Hynix en TSMC hebben chipfabrieken in China.

De arm van de VS reikt ver: de exportrestricties gelden voor apparaten waar meer dan 25 procent Amerikaanse techniek in zit. Voor sommige onderdelen van ASML-machines is dat het geval, maar het geldt niet voor de lithografiemachine als geheel. Die wordt in Veldhoven in elkaar gezet. In het eerste kwartaal van 2022 verdiende ASML ruim 30 procent van zijn omzet met leveringen aan China, over heel 2021 was het 15 procent.

ASML kan chipmachines aan China leveren die softwarematig zo beperkt zijn dat ze niet al te geavanceerde chips kunnen maken. Maar zo’n ingebouwde handrem is geen optie waar ASML op zit te wachten.

Ondertussen komt de VS niet verder met een omvangrijk steunprogrammma voor de eigen chipindustrie. Er ligt een wetsvoorstel om 52 miljard dollar te investeren – de CHIPS Act – maar die wacht al maanden op goedkeuring door het Congres. Fabrikanten als TSMC en Intel pauzeren daarom hun uitbreidingsplannen in de VS.